フォトレジスト材、ダイシングテープ等に用いられる光硬化性樹脂には、光を吸収して活性種を生成する光重合開始剤が添加されています。
GCMSを用いてUV硬化樹脂中の光重合開始剤を分析しました。
熱脱着GCMS分析
樹脂中に含まれる微量添加成分を測定するには熱脱着GCMSが適しています。
樹脂を分解しない程度の温度で加熱することにより、内部に含まれている低分子成分を抽出します。UV硬化性樹脂の熱脱着GCMSの測定結果を示します。
感光剤の一種であるIrgacure184（光ラジカル重合開始剤）が検出されました。
感光剤には様々な構造のものがあり、その構造によって吸収する光の波長や反応機構が異なります。このような物質はIR等の主成分分析では特定できないため熱脱着GCMSによる分析が有効です。
アイテスでは材料中の微量成分を熱脱着GCMSにて分析し同定することで、様々な材料のキャラクタリゼーションを行います。