特徴
試料中に含まれる微量の全元素（H〜U）をppmからppbの高感度で検出することが出来ます。定性分析及び深さ方向分析が可能です。
加えて標準試料による高精度な定量分析が可能です。(弊社の協力会社での分析実施)
CAMECA ims 7f auto
仕様：
➢ 試料の自動ロード／アンロード，
高スループット(24試料/ロード)
➢ 比類のないデプスプロファイリング能力と
高い デプス分解能，広ダイナミックレンジ
➢ ガラス，金属，セラミックス，Si，化合物半導体，
浅いインプラントなどの分析に最適化
➢ 最高検出限界： ppmからppb (10-6 ～10-9)
➢ 最小ビーム径：約30um
材質によってさらにビーム径を落とせる
アプリケーション
イオン注入の砒素デプス分析 : 合計36回実行，RSD=0.33% (RSD: 相対標準偏差)
表面 – As
表面 – P
スパッタリング後 – As
スパッタリング後 – P
As75 & P31 イオンイメージ分析，試料デプス分析で抽出可能 (ラスターエリア: 100um×100um)