AFM(原子間力顕微鏡) 試料表面を微小プローブで走査し、ナノレベルの構造解析を実現します。 装置概要 特徴 ・微小プローブによる高分解能でのイメージング・導体、半導体、絶縁体を問わず測定可能・微小な触圧によりほぼ非破壊で測定可能 適用例 ・ウエハ、ガラス、基板等の表面粗さ評価・MEMS、ナノインプリント等の形状評価・フィルム等の物性評価(位相イメージング) Bruker社製 Dimension Icon シリコンプローブ先端曲率半径:10nm以下 形状測定(タッピングモード) 周期的に振動させたプローブで試料表面を軽くタッピングし、表面形状を計測します。 タッピングモード(ダイナミックモード) ナノインプリントフィルムの表面観察(SEM像、AFM鳥瞰像、断面解析) 位相イメージング カンチレバーを動かす周期信号とカンチレバーの振動とのあいだの位相遅れをマッピングし、形状には現れない物性の違いを可視化します。 位相イメージング PC/ABSブレンドポリマーの形状像(左)と位相像(右)・形状像…明部:凸、暗部:凹・位相像…明部:位相遅れ大(ABS)、暗部:位相遅れ小(PC) お問い合わせはこちらから 株式会社アイテス 品質技術部 TEL:077-599-5020 メールでのお問い合わせはこちらから