試料表面を微小プローブで走査し、ナノレベルの構造解析を実現します。
装置概要
特徴
・微小プローブによる高分解能でのイメージング
・導体、半導体、絶縁体を問わず測定可能
・微小な触圧によりほぼ非破壊で測定可能
適用例
・ウエハ、ガラス、基板等の表面粗さ評価
・MEMS、ナノインプリント等の形状評価
・フィルム等の物性評価(位相イメージング)
Bruker社製 Dimension Icon
シリコンプローブ
先端曲率半径:10nm以下
形状測定(タッピングモード)
周期的に振動させたプローブで試料表面を軽くタッピングし、表面形状を計測します。
タッピングモード(ダイナミックモード)
ナノインプリントフィルムの表面観察
(SEM像、AFM鳥瞰像、断面解析)
位相イメージング
カンチレバーを動かす周期信号とカンチレバーの振動とのあいだの位相遅れをマッピングし、形状には現れない物性の違いを可視化します。
位相イメージング
PC/ABSブレンドポリマーの形状像(左)と位相像(右)
・形状像…明部:凸、暗部:凹
・位相像…明部:位相遅れ大(ABS)、暗部:位相遅れ小(PC)