表面分析ガイド

様々な表面分析手法を用いて、異物、変色、汚染などのお困りごとの解決に向けてお役立て致します。

EDX(EDS)(エネルギー分散型X線分析)

電子線を照射し特性X線を検出します。微小領域からバルク試料まで幅広い分析が可能です。

EDX(EDS)

特徴

  • 微小領域の元素分析
  • バルク試料の分析
  • SEMとの併用が可能
  • 元素マッピング

適用例

  • 微小異物分析
  • マイグレーション観察
PP(アクリル添加品)の元素マッピング(SEM)

PP(アクリル添加品)の元素マッピング

AES(オージェ電子分光分析)

電子線を照射しオージェ電子を検出します。酸化状態など金属表面の分析に有効です。

AES(オージェ電子分光分析)

特徴

  • 最表面(約5nm)の分析
  • 深さ方向分析
  • 微小領域の元素分析

適用例

  • パッドの変色分析
  • 酸化膜厚測定
  • ボンディング不良解析
Alパッド(不良部)
Alパッド(正常部)

ボンディング不良パッドの深さ方向分析

XPS(ESCA)(X線光電子分光分析)

X線を照射し光電子を検出します。絶縁物の分析や化学結合状態の分析が可能です。

XPS(X線光電子分光分析)

特徴

  • 最表面(約5nm)の分析
  • 深さ方向分析
  • 結合状態の比較評価
  • 絶縁物の分析

適用例

  • 基板表面の汚染分析
  • 表面酸化の評価
元素分析結果

元素分析結果

炭素の状態分析結果

炭素の状態分析結果

TFAによるPVAの化学修飾 (定性分析、状態分析)

TOF-SIMS(飛行時間型二次イオン質量分析)

一次イオンを照射し二次イオンを検出します。表面汚染などの有機物・無機物分析に有効です。

特徴

  • 最表面(1~2nm)の分析
  • 微量元素の検出(数ppm)
  • 有機物・無機物のイメージング
  • 元素の深さ方向分析

適用例

  • 有機物・無機物汚染の分析
  • 膜はじき異物の分析

Si ウエハの残渣分析(有機物・無機物のイメージング)

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株式会社アイテス 品質技術部
TEL:077-599-5020