EPMA分析例

EPMAはEDXと比較すると検出分解能が優れています。
EDXでは元素の検出位置が近く、ピーク分離が困難な場合であっても、EPMAであればピーク分離が可能な場合があります。

22Ti と56Ba のピーク分離

分析例 積層セラミックコンデンサ

コンデンサは、チタン酸バリウム(BaTiO3)などの高誘電体を使った積層セラミックコンデンサが主流となっています。内部構造は、チタン酸バリウムの誘電体と内部電極を交互に1000層程度重ねた多層素子になっています。
積層セラミックコンデンサ

チタン酸バリウム(BaTiO3)のX線スペクトル

チタン酸バリウムのX線スペクトル
22Ti および56Ba は検出位置が近接しており、EDXではピーク分離が困難です。 EPMAによる分析は、PET、PETH、LIF、LIFH分光結晶で検出されます。 波長分解能の優れるLIF、LIFH分光結晶を用いることで、22Ti と56Ba のピーク分離が可能になります。
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