EELS分析手法による膜質評価

EELS分析とEDS分析はTEM試料に加速した電子を照射することで元素同定を行う分析手法です。
EELS分析とEDS分析の違い、分析事例をご紹介します。

EELS分析とEDS分析との比較

EELS

EDS

分析に使用する
パラメータ

エネルギー損失電子

特性X線

エネルギー分解能

1eV以下

100eV前後

長所

状態分析
軽元素分析(Li,B)

全元素についての分析

短所

広範囲の元素を
同時分析が困難

近接するエネルギーを持つ元素のピーク分離が困難

測定時間

5s

30s

TEM試料厚

約50nm以下

約300nm以下

EELS,EDS

EELS分析事例:異なるカーボン膜

状態分析が特徴であるEELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行う。

ELLS
EDS
2種類の組成図

2種類の組成図

EDS分析

スペクトルの比較からBottom膜のみN,Oを微量に検出。

EELS分析

2つのSpectrumのショルダー形状が違うことから有機膜に配合されているN,OとCの結合状態を比較することが可能。

EELS分析により物質の結合状態の比較が可能となります。

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株式会社アイテス 品質技術部
TEL:077-599-5020

EELS分析とEDS分析は、TEM試料に加速した電子を照射することで元素同定を行う分析手法です。
EELS分析とEDS分析の違いをご紹介します。

EELS分析とEDS分析との比較

 

EELS分析事例:異なるカーボン膜

 状態分析が特徴であるEELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行う。

EELS分析により物質の結合状態の比較が可能となります。