XPS角度分解法による薄膜層の深さ方向分析

通常のイオンエッチング法では測定が困難な表面付近nmオーダーの均一な薄膜の深さ方向分析を実現します。

測定原理

原理

サンプルとXPSの光電子検出器との角度を変えることにより光電子の検出深さを変えることが出来ます。
これより得られたデータをシミュレーションにより数値的に解析し、 深さ方向のプロファイルに変換します。

XPSの測定原理

特徴

非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方向分析が可能になります。

分析事例  (HDD磁気ディスク表面の保護層の膜厚分析)

HDD磁気面の表面はフッ素系の潤滑油と、磁性層保護膜のDLC膜から
なっています。
各層は非常に薄く、作られた時期にもよりますが、潤滑油膜は1~2nm程度、  DLC膜は3~10nm程度とされています。

古い2.5インチのディスクを分析した所、潤滑油膜は約1.5nm、DLC膜は約4.5nmという結果が得られました。

HDD磁気面の構造
XPS角度分解法
XPS 深さ方向プロファイル

角度分解法による測定結果

シミュレーションによる深さ方向のプロファイル