AFM(原子間力顕微鏡)

試料表面を微小プローブで走査し、ナノレベルの構造解析を実現します。

装置概要

特徴

・微小プローブによる高分解能でのイメージング
・導体、半導体、絶縁体を問わず測定可能
・微小な触圧によりほぼ非破壊で測定可能

適用例

・ウエハ、ガラス、基板等の表面粗さ評価
・MEMS、ナノインプリント等の形状評価
・フィルム等の物性評価(位相イメージング)

AFM装置写真

Bruker社製 Dimension Icon

シリコンプローブ
先端曲率半径:10nm以下

形状測定(タッピングモード)

周期的に振動させたプローブで試料表面を軽くタッピングし、表面形状を計測します。

AFM_タッピングモード

タッピングモード(ダイナミックモード)

ナノインプリントフィルムの表面観察(SEM像、AFM鳥瞰像、断面解析)

ナノインプリントフィルムの表面観察
(SEM像、AFM鳥瞰像、断面解析)

位相イメージング

カンチレバーを動かす周期信号とカンチレバーの振動とのあいだの位相遅れをマッピングし、形状には現れない物性の違いを可視化します。

位相イメージング

PC/ABSブレンドポリマーの形状像と位相像

PC/ABSブレンドポリマーの形状像(左)と位相像(右)
・形状像…明部:凸、暗部:凹
・位相像…明部:位相遅れ大(ABS)、暗部:位相遅れ小(PC)