EELS分析手法による膜質評価

EELS分析とEDS分析は、TEM試料に加速した電子を照射することで元素同定を行う分析手法です。
EELS分析とEDS分析の違いをご紹介します。

EELS分析とEDS分析との比較

 

EELS分析事例:異なるカーボン膜

 状態分析が特徴であるEELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行う。

EELS分析により物質の結合状態の比較が可能となります。