積層基板で形成されるビア(Cu)について、EBSDによる解析例を紹介いたします。
SEM観察
EBSD解析
EBSDにて結晶構造を観察
EBSD法により結晶サイズの分布や、残留応力を推測することができます。
また、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特徴を可視化できます。