EBSDパターン(菊池パターン)

EBSDパターン(菊池パターン)

EBSDパターン(菊池パターン)

SEM中で試料を大きく傾斜し電子線を照射したとき、試料が結晶性のものであれば、試料内で電子線回折が生じます。
左記のように生じたEBSD(菊池)パターンを指数付けすることで、その点の結晶方位を求めることが可能となります。

(株)TSLソリューションズ製 OIM7.0 結晶方位解析装置(標準検出器)

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