EBSDによる解析例(Chip)

Chip表面の配線(Al)について、EBSDによる解析例を紹介いたします。

1.樹脂開封

AIパターンの解析を実施

2.EBSD解析

結晶粒分布
IPF-map
001
110
111

Al配線に配向性が見られました。極点図A3(ND)方向に(111)面の法線方位が分布しており、以下の様な結晶が多く存在していると考えられます。

イメージ図
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