EBSDによる解析例(ビア)

積層基板で形成されるビア(Cu)について、EBSDによる解析例を紹介致します。

SEM観察

反射電子像
反射電子像 拡大

EBSD解析

EBSDにて結晶構造を観察

IPF map
結晶粒分布 map
結晶粒分布
Grain Size

EBSD法により結晶サイズの分布や、残留応力を推測することができます。
また、マップにHigh lightすることにより、グラフに現れた特徴を可視化できます。

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株式会社アイテス 品質技術部
TEL:077-599-5020