EBSDによる解析例(シリコンウエハ) EBSDの事例として、シリコンウエハを示します。測定したシリコンウエハは単結晶であるため、IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。 IPFマップ ウエハから小片を切り出し、中央50×50 μm の領域にてIPFマップを取得しました。測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないことから単結晶であることが確認できます。 極点図 つづいて極点図の確認を行いました。001極点図を見ると、A3(測定面)を示す中心付近が強くなっていることから、 シリコンウエハの{001}面は測定面の方向を向いていることが確認できます。 逆極点図 逆極点図の確認も行いました。A3(測定面)の逆極点図を見ると001付近が強くなっていることから、測定面は{001}面の方向を向いていることが確認できます。 EBSD解析事例へ お問い合わせはこちらから 株式会社アイテス 品質技術部 TEL:077-599-5020 メールでのお問い合わせはこちらから