EBSDによる解析例(シリコンウエハ)

EBSDの事例として、シリコンウエハを示します。
測定したシリコンウエハは単結晶であるため、IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的シンプルな結果になりました。

IPFマップ

ウエハから小片を切り出し、中央50×50 μm の領域にてIPFマップを取得しました。測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないことから単結晶であることが確認できます。

IPF-map
ウエハ小片の配置

極点図

つづいて極点図の確認を行いました。001極点図を見ると、A3(測定面)を示す中心付近が強くなっていることから、 シリコンウエハの{001}面は測定面の方向を向いていることが確認できます。

極点図

逆極点図

逆極点図

逆極点図の確認も行いました。A3(測定面)の逆極点図を見ると001付近が強くなっていることから、測定面は{001}面の方向を向いていることが確認できます。

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