FT-IR分析のための液体異物サンプリング技術 従来、液状異物のサンプリングは非常に困難とされて来ましたが、キャピラリーを用い表面張力によってサンプリングし、FT-IR分析が可能となりました。 キャピラリーによる液体のサンプリング 基板上の液体異物 キャピラリーによるサンプリング Siウェハ上に液体を載せ替えFT-IR分析 キャピラリーにてサンプリング中 Siウェハに載せ替え 液体試料の分析例(皮脂) 液体サンプリングを行い、Siウェハ上で分析した皮脂のFT-IRスペクトル お問い合わせはこちらから 株式会社アイテス 品質技術部 TEL:077-599-5020 メールでのお問い合わせはこちらから