従来、液状異物のサンプリングは非常に困難とされて来ましたが、キャピラリーを用い表面張力によってサンプリングし、FT-IR分析が可能となりました。
キャピラリーによる液体のサンプリング
基板上の液体異物
キャピラリーによるサンプリング
Siウェハ上に液体を載せ替え
FT-IR分析
キャピラリーにてサンプリング中
Siウェハに載せ替え
液体試料の分析例（皮脂）
液体サンプリングを行い、Siウェハ上で分析した皮脂のFT-IRスペクトル