FT-IR分析のための液体異物サンプリング技術

従来、液状異物のサンプリングは非常に困難とされて来ましたが、キャピラリーを用い表面張力によってサンプリングし、FT-IR分析が可能となりました。

キャピラリーによる液体のサンプリング

基板上の液体異物

基板上の液体異物

キャピラリーによるサンプリング

キャピラリーによるサンプリング

Siウェハ上に液体を載せ替え
FT-IR分析

キャピラリーにてサンプリング中

キャピラリーにてサンプリング中

Siウェハに載せ替え

Siウェハに載せ替え

液体試料の分析例(皮脂)

液体サンプリングを行い、Siウェハ上で分析した皮脂のFT-IRスペクトル

液体試料の分析例(皮脂)
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