TOF-SIMSの事例 広域イメージマップ

電動ステージと組み合わせることで、広域のイメージマップ測定が可能です。

ステージ駆動による広域イメージマップ

TOF-SIMSの通常測定(ビームスキャン測定は、サイズ00μm x 500μm以下を測定対象としています。一方、電動ステージと組み合わせることで、広い領域についてイメージマップ測定が可能です。

ステージ駆動による広域イメージマップ

広域イメージマップの測定例

金属板に2種類の黒色マジック(マジックA, B)で描画し、広域 ( 30mm x30mm) のイメージマッピング測定を

行いました。光学像では2種類のマジックの識別が困難ですが、各マジックに特徴的な2次イオンピークでイメージマップを確認することで、マジックの分布を可視化することができます。

光学像
MAP1,2,3の重ね合わせ
map1
map2
map3

スペクトル詳細解析

イメージマップ測定後にスペクトル取得することで、さらに詳細な知見が得られる場合があります。

各Mapの黄色丸の領域からスペクトル取得を行ったところ、Map1からCF系有機物成分が強く検出されました。Map2からはCN系、CH系有機物成分が強く検出されました。Map3からは下地金属であるCu, Zn, Na, K, CH系有機物などが検出されました。

スペクトル詳細解析
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