液晶画面のアレイに使用されている IGZO TFTの受託分析です。
電気特性の測定から、断面TEM観察及びEDS元素分析による構造解析を、一貫して行っておりますのでご紹介いたします。
解体及びTFT電気特性の測定
IGZOスマートフォン外観
解体、ディスプレイ取り出し
ディスプレイ開封、液晶除去
IGZO TFT 表面光学像及び断面TEM観察箇所
IGZO TFT 電気特性測定結果
IGZO TFT 断面TEM観察及びEDS分析
| IGZO TFT 断面TEM観察結果 | チャネル部のEDSスペクトル |
作製した断面からEDSによる元素分析及び元素マップ等が行える。