目的・試料状態により最適な方法を選択、或いは組み合わせて受託加工を行います。
断面観察用試料の作製の際は、アイテスまでご連絡ください。
主な断面作製方法
【機械的加工】
・機械研磨
・ミクロトーム
【イオンビーム加工】
・FIB
・ｲｵﾝﾎﾟﾘｯｼｬｰ(CP)
：最も一般的で耐水研磨紙等で研磨する方法。
：ダイヤモンドナイフによる切削加工による方法。
：Gaイオンを照射し微小領域を加工する方法。
：Arイオンを照射し広範囲を加工する方法。
（主な観察用途）
（OM、LM、SEM）
（OM、LM、SEM、TEM）
（SEM、SIM、TEM）
（OM、LM、SEM）
