データ形式
PNG ファイル
ご要望に応じて数値データファイル
仕様
測定可能領域
平面観察試料:1cmx1cm
断面観察試料:断面幅~1cm
最大視野角:80μm×80μm (256点× 256点)
空間分解能
10nm (高濃度領域) ~ 数百nm (低濃度領域)
検出キャリア濃度
10e14~10e20 /cm3
※Si デバイスの場合
必要情報
1.目的/測定内容
2.試料情報
(1)数量、予備試料の有無など
(2)測定箇所を示した平面、断面模式図、半導体の材質、キャリア濃度、希望視野など