sMIMによる半導体拡散層の解析

マイクロ波インピーダンス顕微鏡(sMIM)は、ドーパント濃度に線形な相関を持つ信号が特徴です。SuperJunction型MOSFETの拡散層断面解析事例を紹介します。...

sMIMによる半導体拡散層の解析

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AFM(原子間力顕微鏡)

試料表面を微小プローブで走査し、ナノレベルの構造解析を実現します。 ...