TOF-SIMS
二次イオン質量分析法(SIMS)
特徴 試料中に含まれる微量の全元素(H〜U)をppmからppbの高感度で検出することが出来ます。定性分析及び深さ方向分析が可能です。 加えて標準試料による高精度な定量分析が可能です。(弊社の協力会社での分析実施) CAM...
TOF-SIMSの事例 広域イメージマップ
電動ステージと組み合わせることで、広域のイメージマップ測定が可能です。 ステージ駆動による広域イメージマップ TOF-SIMSの通常測定(ビームスキャン測定は、サイズ500μm x 500μm以下を測定対象としています。...
TOF-SIMS の事例 「Li の分析」
汚染や異物の分析には SEM-EDX が利用されていますが、windowless EDX を除く一般的な EDX では Li の検出は困難です。一方、TOF-SIMS は Li を感度よく検出することができます。TOF-SIMS と SEM-EDX で Li の分析を比較した事例を示します。...
不具合の原因を化学の視点で解決します。
クラック、変色、剥離、変形、物性強度低下など、製品、部材などに発生する不具合は様々です。その多くは、製品を構成する材料に原因がある場合が多く、その材料を分析調査することで解決することがあります。何が起きているのかを化学、および反応機構でアプローチする方法をご紹介します。...
TOF-SIMS分析
TOF-SIMS (Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy)は 軽元素、無機物から
分子量の大きい有機物まで、最表面の微量成分の分析が可能です。
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有機物のTOF-SIMS分析
TOF-SIMSは元素及び有機物の分子、フラグメントイオンの検出が可能であり、
有機物の分析にも有効です。
有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介します。...
微量汚染物のTOF-SIMS分析
受託分析 TOF-SIMSのご紹介です。
TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です。
SEM-EDXでは検出できなかった微量汚染もTOF-SIMSなら検出できるかもしれません。...
TOF-SIMSによる界面活性剤残渣の分析
受託分析 TOF-SIMSのご紹介です。
シリコンウェハ、ガラス基板、プリント配線基板など洗浄工程を必要とする、さまざまな基板上の界面活性剤等の残渣あるいは目に見えない微量汚染物質の解析が可能です。...
装置