TOF-SIMS (Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy)は軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで、最表面の微量成分の分析が可能です。（一部再委託となります）
原理と光学系
パルス状の一次イオンをサンプルに照射し、表面から放出された二次イオンの飛行時間により質量分析を行います。
質量の大きなイオン程、検出器に到達する時間が長くなり、質量の分離が出来ます。
３つの分析モード
最表面の分析モードとして、定性のための質量スペクトル分析、水平方向の分布確認のための面分析を行うことができます。
また、スパッターイオンガンを組み合わせることで、深さ方向の元素分布の分析を行うことができます。
質量スペクトル分析
面分析
深さ方向分析