汚染や異物の分析には SEM-EDX が利用されていますが、windowless EDX を除く一般的な EDX では Li の検出は困難です。一方、TOF-SIMS は Li を感度よく検出することができます。TOF-SIMS と SEM-EDX で Li の分析を比較した事例を示します。
銅板の染みの分析
リチウムグリースは加工装置の可動部に使われています。装置のグリースが飛散し、周囲の製品に付着することで染み状の外観不良となることがあります。
再現実験として、銅板にリチウムグリースを付着させ、染み部分から Li が検出できるか TOF-SIMS と SEM-EDXで検証を行いました。
TOF-SIMS分析 → Li 検出可能
TOF-SIMS で染みの分析を行いました。Li イオン像から染みの分布が見受けられます。TOF-SIMSスペクトルでも Li が検出できていることが確認できました。