TEM（透過型電子顕微鏡）観察は、電子部品の故障部位観察、長さ測定、元素分析、結晶構造の解析等や材料評価の幅広い要求にお応えします。
特定部位のTEM観察（故障解析への応用）
エミッション解析にて特定した故障部位は、サブミクロンオーダーの加工精度を誇る独自のマーキング技術用い、薄片化しながら観察します。
電子の透過力の大きい加速電圧４００ｋＶのＴＥＭにて故障部位を試料厚内に閉じ込めた状態での透過観察とＦＩＢ加工を繰返し、最適な像を得ることが可能です。
FIB加工の様子
故障部位TEM像
TEM拡大像
元素分析、電子線回折
TEMは高倍率観察のみならず、EDS、EELSによる元素分析、あるいは電子線回折による結晶
構造、面方位、格子定数等の解析を行う事ができます。
ＴＥＭのブロック図
ＳｉＯ２のＥＤＳスペクトル
Siの電子線回折像
電子線入射方向[112]
TiNのEELSスペクトル