気密性を要求される部材に対して、真空ポンプで既定圧力まで圧力を下げ、漏れが発生しないかを確認します。 また減圧⇔開放状態を繰り返す耐久試験を行うことができ、環境試験槽との組み合わせで加熱/冷却状態で実施することも可能です。
減圧試験機
真空ポンプで規定圧力で減圧した状態で、規定時間保持し圧力の確認結果から試験品で漏れが発生していないか（圧力が上昇しないか）を確認します。減圧を繰り返して試験を行い圧力データから漏れが発生したタイミングを確認します。
環境試験槽の中に試験品を設置することにより、試験品を加熱/冷却した状態で試験を実施することが可能です。
エアー漏れなし
エアー漏れ発生時
装置構成
1． 試験品を試験槽内に設置し試験環境温度にさらします
2． 電磁弁①が開き、真空ポンプにて減圧を行います
3． モニター圧力が指定圧力に到達後、電磁弁①を閉め、試験品は減圧された状態を規定時間維持します
4． 規定時間経過後、電磁弁②を開け 大気開放し常圧に戻します
5． 2～4を指定のサイクル数繰り返し試験を行います
装置仕様
減圧圧力 : Max -70 kPa（ゲージ圧）
繰り返しサイクル数 : Max 32000 サイクル
圧力保持時間 ：Max 3000 秒
モニター : 試験中の圧力センサの値（ゲージ圧）の記録
試験品との接続 : エアーチューブ（接続方法は試験品に合わせて対応）