ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2014(最新版 JS-002-2018)において、試験時のデバイス付近の相対湿度は 30％未満にすることを要求されています。
AEC規格においても2019年の改訂で ANSI/ESDA/JEDEC JS-002に準拠すると明記され、相対湿度 30％未満の低湿度環境の要求は、今後も高まってくると見込まれます。
CDM試験の主要規格の湿度要求
規格名
試験環境
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018
相対湿度30%未満
AEC – Q100-011 Rev-D
AEC – Q101-005 Rev-A
相対湿度30%未満
(JEDEC JS-002に準拠)
JEITA ED-4701/302A(試験方法305D)
周囲温度 25℃±5℃
仕様
湿度制御 ： ドライエア(露点温度-20℃)により湿度30％未満を実現
確認方法 ： サンプル設置近傍の２ヶ所に温湿度センサーを設置して温度・湿度を常時モニター
相対湿度が30％未満となった時点で試験開始
試験装置 ： CDM SIMULATOR HED-C5002 (阪和電子工業株式会社)
CDM SIMULATOR HED-C5002
(阪和電子工業株式会社)
温度・湿度センサー(矢印の２ヶ所)