「SiC 潜在欠陥検査装置 / 通電劣化シミュレーター ITS-SCX100」に関するプレスリリースのお知らせ

このたび、東京エレクトロンデバイス株式会社と共同開発した製品「「SiC 潜在欠陥検査装置 / 通電劣化シミュレーター ITS-SCX100」に関するプレスリリースを公開いたしました。

ITS-SCX100は、SiCパワーデバイスの信頼性課題であるバイポーラ劣化をUVレーザー照射により再現・可視化する検査装置です。従来約2ヶ月を要していたサンプル評価を約2日に短縮します。

詳細は下記プレスリリースをご覧ください。
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