液晶パネルにおいて特定のTFTに対し、性能確認のための良品特性測定、不良特性測定や、信頼性評価することが出来ます。
TFTの各温度での電気特性測定
表示状態のモニターを解体し、パネル内の画素TFTに
対して、電気特性測定が可能です。
- 特性測定項目：Vg-Id、Vd-Id
アニール前後, 光照射,加温や冷却下での測定も可能です。
測定結果からIon､Ioff,Vth,移動度の指標を算出し、良品解析での実力値の確認や不良原因の解明を行います。
実パネルでの画素TFT測定例
事例：加温,冷却時のVg-Id測定
DCバイアスストレス試験
Gate,Drainに任意のDCバイアスを印加し、TFTにストレスを与えたときのVthシフトを測定し、信頼性確認を行います。加速試験として、加温状態でも測定出来ます。
複数のパネルメーカにて測定を行い、Vthシフト量を比較することで、優位判定も可能です。
室温でのDCバイアス測定