リフトアウト法
特徴
・通常の手法と比べ短時間（約１/２）で試料作製が可能
・近接する個所でも試料作製可能
・試料の前処理に水を使わない（ダイシングソー、機械研磨不要）
リフトアウト法を用いた試料作成の概要
ガラスプローブで静電吸着して取り出す
マイクロマニュピレーター外観図
取り出したところ
グリッドに固定する
FIB（集束イオンビーム装置）を使用したTEM試料作製
ガラスプローブで静電吸着して取り出す
マイクロマニュピレーター外観図
取り出したところ
グリッドに固定する