TOF-SIMS分析

TOF-SIMS (Time Of Flight Secondary Ion Mass Spectroscopy)は 軽元素、無機物から 分子量の大きい有機物まで、最表面の微量成分の分析が可能です。 ...

有機物のTOF-SIMS分析

TOF-SIMSは元素及び有機物の分子、フラグメントイオンの検出が可能であり、 有機物の分析にも有効です。 有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介します。...

微量汚染物のTOF-SIMS分析

受託分析 TOF-SIMSのご紹介です。 TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です。 SEM-EDXでは検出できなかった微量汚染もTOF-SIMSなら検出できるかもしれません。...

TOF-SIMSによる界面活性剤残渣の分析

受託分析 TOF-SIMSのご紹介です。 シリコンウェハ、ガラス基板、プリント配線基板など洗浄工程を必要とする、さまざまな基板上の界面活性剤等の残渣あるいは目に見えない微量汚染物質の解析が可能です。...