TOF
有機物のTOF-SIMS分析
TOF-SIMSは元素及び有機物の分子、フラグメントイオンの検出が可能であり、
有機物の分析にも有効です。
有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介します。...
微量汚染物のTOF-SIMS分析
受託分析 TOF-SIMSのご紹介です。
TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です。
SEM-EDXでは検出できなかった微量汚染もTOF-SIMSなら検出できるかもしれません。...
TOF-SIMSによる界面活性剤残渣の分析
受託分析 TOF-SIMSのご紹介です。
シリコンウェハ、ガラス基板、プリント配線基板など洗浄工程を必要とする、さまざまな基板上の界面活性剤等の残渣あるいは目に見えない微量汚染物質の解析が可能です。...
TOF-SIMSによる液晶パネル中の異物分析
TOF-SIMSによる液晶パネルの受託分析例です。
液晶ディスプレイ内に見つかった異物の分析 ・測定結果から、有機系のフラグメント以外に、ナトリウム、カリウム、カルシウムが検出されました。これにより、 人体に由来する異物の可能性が推測されました。 ...
装置
ﾄﾘﾌﾟﾙｲｵﾝﾎﾟﾘｯｼｬｰ（CP）
光学顕微鏡
FE-SEM
ラマン
WTS
TC
THB
TH
高温試験
低温試験
HAST、PCT
ホットオイル試験
In-Situ
パワーサイクル
ESDラッチアップ
CDM
光学測定
ﾃﾞｼﾞﾀﾙﾏｲｸﾛｽｺｰﾌﾟ
SAM、SAT
X線
Xsec
dye-and-pry
ﾏｲｸﾛﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
レーザー顕微鏡
低真空SEM
FIB-SEM
EMS/OBIRCH
裏面研磨
ワイヤーソー
TEM
ウルトラミクロトーム
AES
XPS
TOF
FT-IR
硬度計
イオンクロマト
GC-MS
TMA
WDX（EPMA）
3次元測定器
DSC
信頼性全般